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Modelación del crecimiento epitaxial de InGaN mediante la técnica LPMOCVD
Guzmán Aquino, Laura Angélica (Universidad de Ciencias y Artes de Chiapas, 2023-04-27)El presente manuscrito se enfoca en la simulación computacional del crecimiento epitaxial de películas delgadas de nitruro de galio-indio (InGaN) emulando los parámetros termodinámicos experimentales de la técnica Depósito ...